Каталог
Введение в микросистемную технику

Микросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микро-электромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения.
Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника».
Нарайкин О. С. Введение в микросистемную технику / О.С. Нарайкин, К.Г. Потловский, В.В. Холевин. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 49 с. - ISBN baum_052_10. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/343508/reading (дата обращения: 11.04.2025). - Текст: электронный.