Каталог
Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие
Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».
Малов И.Е. Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие / И.Е. Малов, И.Н. Шиганов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. - 24 с. - ISBN 012-2008-maket. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/343711/reading (дата обращения: 20.04.2024). - Текст: электронный.