8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (39691)
Высшее образование
Естественные науки (2579)
Естественные науки
Общественные науки (3174)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4251)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1406)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1359)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (634)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4330)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2770)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6028)
Гуманитарные науки
Экономика. Экономические науки (6614)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (3346)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (953)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (474)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (2799)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (43399)
Коллекции
Издательские коллекции (42976)
Издательские коллекции
Журналы (999)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие

Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие ISBN 012-2008-maket
ISBN 012-2008-maket
Авторы: 
Малов И.Е., Шиганов И.Н.
Тип издания: 
Учебно-методическое пособие
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2008
Количество страниц: 
24
Не доступна для комплектования
Аннотация

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Малов И.Е. Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие / И.Е. Малов, И.Н. Шиганов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. - 24 с. - ISBN 012-2008-maket. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/343711/reading (дата обращения: 20.04.2024). - Текст: электронный.