Каталог
Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
Под ред. Ю.Б. Цветкова. Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3319-3. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/343836/reading (дата обращения: 12.01.2026). - Текст: электронный.