Каталог
Элионные процессы и нанотехнологии

Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ, указания по выполнению домашнего задания, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Наноинженерия», а также всех, занимающихся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения
Панфилов Ю.В. Элионные процессы и нанотехнологии / Ю.В. Панфилов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 128 с. - ISBN 978-5-7038-3501-2. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/363838/reading (дата обращения: 27.09.2025). - Текст: электронный.