8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (39691)
Высшее образование
Естественные науки (2579)
Естественные науки
Общественные науки (3174)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4251)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1406)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1359)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (634)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4330)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2770)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6028)
Гуманитарные науки
Экономика. Экономические науки (6614)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (3346)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (953)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (474)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (2810)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (43399)
Коллекции
Издательские коллекции (42976)
Издательские коллекции
Журналы (999)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] — (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31)

Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] — (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31) ISBN 978-5-7692-1183-6
ISBN 978-5-7692-1183-6
Авторы: 
Асеев А.Л., Гриценко В.А., отв. ред.
Тип издания: 
Монография
Издательство: 
Новосибирск: СО РАН
Год: 
2011
Количество страниц: 
158
Аннотация

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)I(Al2O3)1 _x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNj, и нитрида Si3N4 кремния.
Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Асеев А.Л. Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] — (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31) / А.Л. Асеев, В.А. Гриценко. - Новосибирск : СО РАН, 2011. - 158 с. - ISBN 978-5-7692-1183-6. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/371900/reading (дата обращения: 19.04.2024). - Текст: электронный.