8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (44670)
Высшее образование
Естественные науки (2770)
Естественные науки
Общественные науки (3854)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4975)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1487)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1412)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (819)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4557)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2870)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6444)
Гуманитарные науки
Иностранные языки (2420)
Иностранные языки
Экономика. Экономические науки (7774)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (4112)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (993)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (510)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (3312)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (48918)
Коллекции
Издательские коллекции (48499)
Издательские коллекции
Журналы (1146)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум ISBN 978-5-7038-5369-6
ISBN 978-5-7038-5369-6
Авторы: 
Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
Тип издания: 
Практикум
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2020
Количество страниц: 
43
Аннотация

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Боброва Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю.С. Боброва, Ю.Б. Цветков. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. - 43 с. - ISBN 978-5-7038-5369-6. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/378421/reading (дата обращения: 24.07.2025). - Текст: электронный.