Каталог
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Боброва Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю.С. Боброва, Ю.Б. Цветков. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. - 43 с. - ISBN 978-5-7038-5369-6. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/378421/reading (дата обращения: 24.07.2025). - Текст: электронный.