Труды Физико-технологического института / Физико-технологич. ин-т им. К.А. Валиева РАН. T. 28: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование

Том 28 Трудов ФТИАН посвящен актуальным проблемам технологии микро- и наноэлектроники. Сборник включает в себя статьи, в которых представлены последние результаты сотрудников института по физике и моделированию процессов функционирования и технологии изготовления перспективных элементов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотренные проблемы относятся, в частности, к разработке физических и математических моделей для эффективного исследования прочностной надежности многослойной наноэлектронной металлизации при больших плотностях тока, приводящих к сильной ионной электромиграции, анализа особенностей процессов, протекающих в на-нотранзисторных структурах, а также возможностей совершенствования и оптимизации технологических процессов формирования наноструктурных элементов, в том числе и перспективных для создания полномасштабных твердотельных квантовых компьютеров.
Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Лукичёв В.Ф. Труды Физико-технологического института / Физико-технологич. ин-т им. К.А. Валиева РАН. T. 28: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование / В.Ф. В. - Москва : Наука, 2019. - 151 с. - ISBN 978-5-02-040185-3. - URL: https://ibooks.ru/bookshelf/402243/reading (дата обращения: 22.11.2025). - Текст: электронный.